近日,南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所吴培亨院士团队、赵清源教授课题组在超导纳米线单光子探测(SNSPD)领域取得重要突破,成功研发光纤端面混合集成 SNSPD新方案,在单模光纤端面实现高性能、宽谱、低损耗单光子探测,相关成果以 “Hybrid Integration of a Superconducting Nanowire Single‑Photon Detector Directly on the Fiber Facet” 为题发表于国际权威光学期刊Laser & Photonics Reviews。

超导纳米线单光子探测器(SNSPD)凭借超高探测效率、极低暗计数、极小时间抖动、超宽响应谱等优势,成为量子通信、深空探测、分布式光纤传感、量子精密测量等领域的核心器件。传统光纤耦合依赖机械配件自对准及复杂光学腔来增强吸收,存在耦合损耗大、对准精度要求高、带宽受限、封装体积偏大等瓶颈;而直接在光纤端面制备 SNSPD 又面临光纤表面粗糙度大、超导薄膜质量差、工艺难以批量制备等难题,长期难以获得与硅基片上器件相当的综合性能。

针对这一行业共性挑战,团队提出“分离制备”+“精准微芯片转移”的光纤端面混合集成新路线:将SNSPD探测器、金反射镜、光纤端面电极分开加工,再通过高精度转印平台,将柔性SNSPD薄膜与反射镜薄膜翻转、精准贴合在光纤芯,依靠范德华力形成稳定机械连接与欧姆接触,彻底规避在粗糙光纤端面上直接生长超导纳米线的工艺缺陷,可实现大规模批量生产。

经低温(1.6 K)测试,集成器件实现饱和内量子效率,关键性能达国际一流水平:系统探测效率(SDE)最高68.6%(1550 nm);时间抖动低至26 ps(低温放大器);最大计数率达51.7 Mcps;1310–1640 nm范围内效率衰减小于2.3%。

该创新耦合模式将探测器嵌入光纤导模场内,结合背反射镜形成驻波增强吸收,在兼顾高效率的同时突破传统光学腔窄带限制,兼得高效率与宽带响应,且耦合更稳定、结构更紧凑。另外,工艺兼容批量制造,单张20×20 mm晶圆可产出逾1300颗芯片,为全光纤集成量子系统提供可扩展方案。

此项成果第一作者为南京大学博士生杨帆,赵清源教授为通讯作者,获吴培亨院士的指导与支持。涂学凑教授级高工、贾小氢教授、张蜡宝教授、陈健教授和康琳教授等也为研究提供了重要支持。得到国家自然科学基金、量子科技创新专项、江苏省重点实验室等资助。研究团队一并致谢南京大学超导电子学研究所(RISE)成员在纳米加工与测试方面提供的协助,以及所有参与讨论和提出建议的同行。
论文信息
Fan Yang, Qingyuan Zhao et al. Hybrid integration of a superconducting nanowire single‐photon detector directly on the fiber facet. Laser & Photonics Reviews e03116 (2026) doi:10.1002/lpor.202503116.


